Kristallzüchtungsanlagen

Für die Herstellung von Si-Einkristallen und optischen Materialien nach dem Floatzonen- , dem Czochralski- oder TSSG-Prinzip
 
Labor- Prüfeinrichtungen für die Kristallzüchtung
Vakuum- und Schutzgasrezipienten nach Anwender- spezifikation
 
Zubehör (Keimhalter, Stabhalter, Induktoren, Schutz- abdeckungen, Kristallstützungen, Schaugläser, Vakuum- durchführungen, Tiegelrotations- und Hubeinrichtungen, Ziehstangen, Dichtungen)

Floatzonenanlage FZ 1520-P
 · Si-Einkristallzüchtung unter Schutz- oder Dotiergas bis 3 bar
 · Stablänge 1500 mm, Durchmesser: 4..6“

Floatzonenanlage FZ 350
 · Si-Einkristallzüchtung unter Schutz- oder Dotiergas bis 1,2 bar
 · Stabablänge 320 mm, Durchmesser: bis 2“

Aufschmelzanlage ASA 1
 · Schmelzen und Trocknen von Materialien für die
   Kristallzüchtung, unter Vakuum oder Schutzgas

Kristallzüchtungsanlage TSSG 120
 · Czochralski- und TSSG Laborkristallziehanlage mit
   Widerstandsheizung

Silan-Abscheideanlage SAA 800
 · Abscheidung bei  ca. 800° C an eingespannter Siliziumseele
 · Siliziumstäbe ca. 800 mm Länge
 · Stabdurchmesser bis 60 mm

Letzte Änderung 17.07.2009